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薄膜製造装置の販売

実験用・少量生産用機から、大容量加工機まで可能

ジョブコーターとしての経験をふんだんに装置に織り込み、ユーザーの立場で設計し、お客様とディスカッションしながら組み上げていく「オーダーシステム」をとっています。
小型の実験用・少量生産用機から、大容量加工機まで種々のタイプをそろえています。

真空装置

私どもの装置はすべてオーダーメードです。多様な蒸発源を持っておりますので何をどのくらいどのように加工したいのかを伺いながら装置の設計を進めてまいります。
従いまして装置に既存モデルというものがありません。
過去製造してきた装置に厳密には1台として同じ装置がないのです。
一例として1台の装置に高周波励起式蒸着、DLC、アーク、スパッタを組み込んだこともあります。
チャンバーサイズもΦ600 から Φ2400 までご希望に添えるようになっております。
研究室の小さな実験機から大量生産用の世界最大装置までお客様のお望みどおりの装置を提供いたします。
私どもの装置にはコーティングのノウハウがついております。
したがって装置導入から極めて短い時間で生産を立ち上げることが可能です。
真空蒸着からイオンプレーティング、スパッター装置まであらゆるご相談に応じます。

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